¡¡¡¡ÐÂÒ»´úÈý´ÎÔªÓ°ÏñÒÇÒÔÑÇ΢Ã×¼¶·Ç½Ó´¥²âÁ¿ÄÜÁ¦£¬³ÉΪº½Ì쾫Ãܹ¹¼þÁãȱÏÝÖÆÔìµÄºËÐÄÖÊ¿Ø×°±¸£¬¿ÉÔÚÍ¬Ò»×ø±êϵÄÚÍê³É³ß´ç¡¢ÂÖÀª¡¢ÐÎλ¹«²îÓë±íÃæÈ±ÏݵĶàά¶Èͬ²½¼ì²â£¬½«´«Í³Èý×ø±ê¼ì²âЧÂÊÌáÉý3±¶ÒÔÉÏ£¬Îª»ð¼ýÖüÏä¡¢ÎÀÐÇÖ§¼ÜµÈ¹Ø¼ü¼þÌṩȫÉúÃüÖÜÆÚÊý¾Ý×·ËÝ¡£
¡¡¡¡É豸²ÉÓøßÎȶ¨ÐÔ´óÀíʯ»ù×ùÓëÆø¸¡¸ôÕñϵͳ£¬¿ÉÔÚ18-22 ¡æ¡À0.1 ¡æµÄºãλ·¾³Ï±£³Ö¡Ü0.3 ¦ÌmÖØ¸´¾«¶È£»2000ÍòÏñËØ¸ßËÙCMOS´«¸ÐÆ÷ÅäºÏ0.01 nm·Ö±æÂʹâÕ¤³ß£¬ÊµÏÖ0.5 sÄÚ¶ÔÖ±¾¶0.1 mm΢¿×µÄÈ«¾°ÉîɨÃ裬ȷ±£ÎÐÂÖҶƬÀäÈ´¿×λÖÃ¶ÈÆ«²î¡Ü2 ¦Ìm£¬Âú×ãGJB 5307¢ñ¼¶º¸·ì100%ÉäÏßÑéÊÕǰµÄ¼¸ºÎÔ¤¼ì¡£
¡¡¡¡¶àÔª´«¸ÐÈںϼ¼ÊõÊÇ×î´óÁÁµã£º¼¤¹â¹âÆ×¹²½¹¿É²â0.05 mm³¬±¡Í¿²ãºñ¶È£¬°×¹â¸ÉÉæË²Ê±»ñÈ¡Ra 0.01 ¦Ìm¼¶´Ö²Ú¶È£¬´¥·¢Ê½Ì½ÕëÔò¶ÔÉî²Û¡¢Ã¤¿×½øÐв¹³¥²âÁ¿£¬ÈýÌ×Êý¾ÝÔÚͬһÈí¼þƽ̨×Ô¶¯¶ÔÆë£¬Éú³É·ûºÏAS9102±ê×¼µÄFAIÊ×¼þ±¨¸æ£¬µ¥¼þº½Ìì·§Ãżì²âʱ¼äÓÉ45 minѹËõÖÁ9 min£¬·ÏÆ·ÂʽµÖÁ3 ppmÒÔÏ¡£
¡¡¡¡ÏµÍ³ÄÚÖÃAIÂÖÀªÊ¶±ðËã·¨£¬Í¨¹ý10Íò´Îº½Ìì¼¶Ñù±¾ÑµÁ·£¬¿ÉÔÚ2 sÄÚÇø·Ö»®ºÛ¡¢Ã«´ÌÓëÑõ»¯É«²îÒ죬Îó±¨ÂÊ<0.1%£»²âÁ¿½á¹ûʵʱÉÏ´«MESϵͳ£¬ÓëÈÈѹ¹Þ¡¢ÎåÖá»ú´²Ðγɱջ··´À¡£¬µ±ÒíÃæ¹Ç¼Ü³öÏÖ5 ¦ÌmÒÔÉÏÆ¯ÒÆÊ±»ú´²×Ô¶¯²¹³¥µ¶Â·£¬ÊµÏÖ¡°±ß¼Ó¹¤±ßÐÞÕý¡±£¬È·±£×îÖÕ×°Åä¼ä϶¡Ü15 ¦Ìm£¬´ïµ½Áã¶ÔÁ㻥»»ÒªÇó¡£
¡¡¡¡Ëæ×ÅÉÌÒµº½Ìì·¢É䯵´ÎÄêÔö28%£¬Èý´ÎÔªÓ°ÏñÒÇÒѸ²¸Ç90%ÒÔÉϺËÐũӦÉÌ£¬µ¥Ì¨É豸Äê¾ùÍê³É2.5Íò¼þ²Õ¶Î¼ì²â£¬ÀÛ¼ÆÎª×ÜÌ嵥λ¼õÉÙÖÊÁ¿³É±¾Óâ1.2ÒÚÔª£»ÏÂÒ»²½½«¼¯³ÉÔÚÏßCTÓëÊý×ÖÂÏÉú¼¼Êõ£¬Ïò100%È«¼ì¡¢ÁãȱÏÝ¡¢ÁãÑÓÎóµÄÄ¿±ê³ÖÐøÑݽø£¬ÎªÎÒ¹ú¸ßÃܶȷ¢ÉäÈÎÎñÌṩ¿É¿¿¾«¶È±£ÕÏ¡£

